产品描述

KY-7VS真空开关是一种利用电容式薄膜测量原理的真空电子传感器，可在规定的真空气体压力水平下提供电气开关触点功能。它在许多真空应用中用于压力控制和安全联锁功能。
例如在多级涡轮分子泵系统需要足够的真空压力水平才能运行，真空开关可用于控制泵，防止其在过高压力下运行。
前级真空泵控制涡轮分子泵运行所需的前线真空压力。当前线真空压力达到预定的切换点时，真空开关关闭继电器触点，继电器触点提供电信号启动涡轮分子泵。
在半导体制造设备中，晶圆通加载锁从环境气压转移到真空处理室。真空室中的真空气体压力需要精确控制，以防止环境空气和微粒污染。通常使用压力和真空开关组合来控制抽气和通气循环。
精确且可重复的真空压力控制和监控在许多真空过程和应用中都至关重要。业界已从机械真空开关转向电子真空开关。