电容薄膜规(CDG)热流逸效应修正方法
电容薄膜规(CDG)的测量下限值主要是看分辨率和零点稳定性,而温度变化会使零点稳定性产生较大的干扰。为了解决CDG的零点稳定性能,减少外界温度变化对测量的干扰,使用中,通常将传感器恒温控制在45 ℃。这时候,传感器所处的测量室与被测容器(温度一般为23 ±3 ℃) 产生较大的温差,从而产生了热流逸效应,这使CDG的传感器不能精确反映校准室的实际压强。
假定CDG连接在一个校准容器上,连接管道的直径为d 。当系统内的压强处于稳态时,CDG测量室内的气体压强为P1 ,温度为T1 ;校准室内的气体压强为P2 ,温度为T2 。当压强较高时,气体分子的平均自由程€λ远远小于d ,系统内气体分...